| タンク |
最大基板サイズ: 250 x 240 x 38mm
最小基板面積:100cm2
最大液量:3.5L |
| 測定溶液 |
脱イオン水 + 50%又は75%イソプロピルアルコール |
| 測定方法 |
| セル: |
サーミスタ温度センサー付き金属絞り線タイプ |
| 電子制御: |
バリスティック伝導度アンプ
操作型昇温ユニット |
| レンジ: |
0.01 - 30μg/cm2 (NaCl 換算値) |
| 総合精度: |
±2%FSD |
| 繰り返し精度: |
±2% (最大基板サイズ) |
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| ソフトウェア測定精度 |
±0.01μg.cm-2 eq. NaCl |
| 本体サイズ |
390mm x 360mm x 525mm |
| 電源 |
100-240 VAC 50/60 Hz |
| 重量 |
約21kg |
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